耐高温:可承受1000℃~3000℃(取决于石墨等级)。
低放气率:适用于高真空环境,减少污染。
化学稳定性:耐酸碱腐蚀,不与大多数工艺气体反应。
良好的导热性:可均匀散热,避免局部过热。
机械加工性能好:可定制不同形状和尺寸。
真空炉:用于密封或调节气流,防止外部空气进入。
单晶硅/碳化硅生长炉:控制炉内气流分布,提高晶体生长质量。
半导体设备:在CVD(化学气相沉积)、PVD等工艺中作为密封件。
冶金行业:用于高温炉的进排气系统调节。
石墨纯度:高纯度石墨(如等静压石墨)适用于高真空环境。
抗氧化处理:若用于氧化性气氛,需进行抗氧化涂层处理。
尺寸精度:需与炉体或管道匹配,确保密封性。
机械强度:根据压力要求选择不同密度的石墨。