加热器是热场中非常重要的部件。它是一个直接加热元件。*高温度可达3000度以上。常见的加热器有三种形状: 圆柱形、杯形和螺旋形。
石墨接触的单晶硅加热器的形状通常是直的。通常，加热器用高纯度石墨处理。
石墨电极的作用是稳定加热器，并通过石墨直接加热。
因此，电极应厚，坚固耐用，表面应光滑稳定，以确保良好的联系我们表面。接通电源时没有火花。石墨电极也用高纯度石墨处理。
坩埚支撑杆、坩埚和托盘共同构成石墨坩埚的支撑体。要求与下轴结合牢固，具有良好的中性。当下轴旋转时，支撑杆和托盘的摆动小于或等于0.5毫米。