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石墨真空炉支架
产品简介:

石墨真空炉支架是专为高温真空环境设计的支撑结构件,主要用于半导体、光伏、冶金、科研等领域的高温设备。它采用高纯度石墨材料制成,具有优异的耐高温性、热稳定性和化学惰性,能够在极端工况下保持结构完整性。

/ 13925759692 王小姐
产品参数

核心特性

✔ 超高温耐受:可在1600~3000℃的真空或惰性气氛中稳定工作
✔ 低热膨胀:高温下尺寸稳定性好,避免热变形影响设备精度
✔ 高导热性:均匀散热,防止局部过热
✔ 化学惰性:耐酸碱、抗熔融金属侵蚀
✔ 高机械强度:等静压石墨支架可承受较大载荷


典型应用

应用场景 功能要求 推荐石墨类型
单晶硅长晶炉 支撑坩埚、热场结构 高纯等静压石墨
碳化硅外延设备 晶圆承载托盘 抗氧化涂层石墨
真空烧结炉 产品放置支架 普通高强石墨
金属热处理 工件支撑架 碳纤维增强石墨
CVD/PVD设备 反应室内部结构件 超高纯石墨
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