氧化:高温下与氧气反应,导致表面粉化(需在惰性气氛中使用)。
机械磨损:硅锭脱模、搬运过程中的摩擦。
热应力:频繁升降温导致微裂纹。
抗氧化处理:
使用SiC涂层(耐温1800℃)。
在N₂/Ar气氛中工作。
定期清洁:
用超声波清洗去除硅渣、粉尘。
避免硬物刮擦。
规范操作:
避免急冷急热(控制升降温速率)。
使用专用脱模剂(如氮化硼涂层)。