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耐高温石墨治具
产品简介：

耐高温石墨治具广泛应用于半导体、光伏、航空航天等高温工艺场景（如CVD、MOCVD、晶体生长等），其性能直接影响生产效率和产品质量。

/ 13925759692 王小姐
产品参数

核心性能要求

特性 工业标准 特殊场景要求
耐温性 ≥1800℃（惰性气体） ≥2200℃（真空/超高温应用）
抗氧化性 800℃空气下寿命＞200小时 需SiC/Al₂O₃涂层（提升至1500℃）
热导率 80-120 W/(m·K) 各向同性石墨（波动＜5%）
纯度 灰分＜100ppm 半导体级＜5ppm（Na/K＜0.1ppm）


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