Sic涂层，产品厚度均匀性好、致密性较好，化学配比性好、性能比较稳 定，导热系数高，热膨胀系数小，具有阻氧、阻碳、耐压、耐磨、自润 滑、无挥发、抗热震、抗烧蚀等优良性能。该涂层能够提高产品质量， 极大的延长部件使用寿命。用于氢化炉的部件，CZ装置的导流筒和用于 PECVD, MOCVD装置的晶片载体。