合成的高纯石墨与天然高纯石墨相比，纯度更高、粒径更小、厚度处在纳米尺度范同内，但其经向宽度可以达到数个到数十个微米，具有超大的形状比，并且保持了石墨原有的平面形碳六元环共轭晶体结构，具有良好的机械强度、导电、导热性能以及良好的润滑、耐高温特性。

1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。 　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。 　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。 　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。 　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。