煅烧使炭质原料的组织结构和物理化学性能发生深刻变化，主要体现在提高了焦炭的密度、机械强度和导电性，提高了焦炭的化学稳定性，为后序工序奠定了基础，煅烧的设备主要有罐式煅烧炉、回转窑和电煅烧炉。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。 2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。 3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。 4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。 5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。
