碳化硅涂层石墨坩埚是以石墨为基体，通过表面涂覆碳化硅（SiC）等材料形成保护层的复合坩埚，兼具石墨的高导热性与碳化硅的耐高温、抗氧化特性。其涂层主要通过化学或物理方法在石墨表面形成致密结构，弥补传统石墨坩埚易氧化的短板，适用于高温熔炼、半导体制造等严苛工况。

涂层材料的核心性能

•     碳化硅的关键作用：莫氏硬度达9.5，耐高温范围1600-2000℃，高温下形成SiO₂保护层阻止氧化，耐熔融金属与腐蚀性熔渣侵蚀。
•     涂层与基体的协同效应：石墨基体提供低膨胀系数与抗热震性，碳化硅涂层提升表面硬度与抗氧化能力，复合后导热率达120-200W/(m·K)，确保热量均匀传导。