石墨盘是一类以石墨为主要材料制成的盘状制品,根据其成分、结构和用途的不同,可分为多种类型,广泛应用于密封、半导体、工业制造等多个领域。例如,膨胀石墨盘根常用于密封场景,而MOCVD石墨盘则是半导体设备的关键部件,此外还有用于烧结炉等工业设备的石墨盘。
石墨材料本身具有一些共性,如层状结构,层间以较弱的范德华键结合,使得石墨具有良好的润滑性和可加工性;在含氧气氛中,700℃及以上时容易氧化形成二氧化碳。
不同类型石墨盘因成分和工艺不同,性能存在差异。例如,EDM-C200超细含铜石墨兼有铜的特性,具有很好的加工速度、良好的损耗及电加工表面质量;ER9330极细晶粒石墨含碳量99%,体积密度1.91g/cm³,开口气孔率10%。