石墨盘是一种以石墨为主要原料制成的功能性部件，具有优异的物理化学性能。其核心材料石墨为碳的结晶矿物之一，呈灰黑色不透明固体，化学性质稳定且耐腐蚀，与酸、碱等药剂不易发生反应。从微观结构看，石墨具有高度有序的层状晶格，层内碳原子以强共价键结合（键长0.142nm），层间通过弱范德华力连接（面间距0.335nm），这种结构使其具备显著的各向异性，如垂直于层方向的电导率仅为层内的约千分之一。

    石墨盘凭借耐高温、导热性好、化学稳定性高等特点，广泛应用于多个工业领域：

•     半导体制造：作为MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备的核心配件，用于承载衬底进行外延片生长，需在高温环境下保持结构稳定。
•     真空热处理：用于箱式真空烧结炉、精密钟罩炉等设备，如高精密烧结铜管石墨盘、真空炉石墨螺母等配件，可耐受高温且热膨胀系数低（20-200℃时约2.7×10⁻⁶/K）。
•     电火花加工（EDM）：利用石墨良好的导电性和损耗特性，作为电极材料加工金属工件，尤其适用于复杂形状模具的制造。
•     其他工业领域：包括石墨轴承、滑轮等机械配件，以及原子能工业中的中子减速剂（需高熔点、耐腐蚀特性）。