石墨盘是半导体等精密制造领域的核心部件，通过结构优化（如凸起设计、涂层技术）和自动化设备提升耐高温性、使用寿命及生产效率。

核心应用与挑战

    石墨盘主要用于半导体外延层生长（如MOCVD设备），通过传递热量实现衬底表面的薄膜沉积。传统石墨盘存在两大痛点：高温形变导致外延层质量下降，以及人工取放/脱模易损坏、效率低。