石墨盘是化学气相沉积（如MOCVD）设备中的关键部件，作为衬底承载体，具有以下特点和应用：

结构特点

1. 双面设计：**表面设凹槽放置衬底，**表面（背向加热系统）对应凹槽槽壁处凹陷设置**隔热部，通过空隙内低压载气实现隔热。
2. 隔热优化：**隔热部含周向间隔的多个隔热孔（直径2-5mm，深度为盘体厚度的0.4-0.6），非对应区域设**隔热孔（直径1-4mm，深度比0.3-0.6）。
3. 防偏移设计：凹槽槽壁背离中心侧设至少两个凸起部，防止高速旋转时衬底偏移。