石墨舟以高纯度石墨为原料制成,因形似小舟得名,主要作为载体承载硅片等基板进行高温处理。其特点包括:耐高温(可达2000℃以上)、化学稳定性好(耐酸、碱、盐腐蚀)、强度高(可承载较大载荷)、导电性能优异。此外,部分石墨舟采用精密加工技术,陶瓷组件防腐蚀且不易爆裂,长期使用不会产生彩片。