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石墨盘
产品简介：

石墨盘分为密封用石墨盘根和MOCVD设备用石墨盘。密封用石墨盘根由低硫膨胀石墨线编织，含金属丝增强。

/ 18925806291 刘经理
产品参数
    石墨盘分为密封用石墨盘根和MOCVD设备用石墨盘。密封用石墨盘根由低硫膨胀石墨线编织，含金属丝增强，密度1.1~1.4g/cm³，耐温-220~+650°C，耐化学腐蚀，用于高温高压阀门、泵等密封。MOCVD设备用石墨盘是衬底承载体，高速旋转保证沉积均匀性，其**表面设**、二隔热部，减少衬底接触区域高温，提高产品良率。石墨盘材质具高导热性、化学稳定性，不同类型分别满足密封和半导体制造需求。
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