石墨盘由碳元素组成,化学性质稳定,耐腐蚀,与酸、碱等药剂不易发生反应。其物理性质因晶体结构等有所不同,如石墨的电阻率约1375μΩ-cm(20°C)。在用途上,可用于真空烧结炉等设备,还可作为发射率测量系统的测量对象,通过测量其发射率反映表面细节和评估温度分布,有助于控制器件质量和优化生长工艺。