石墨舟由高纯度石墨材料制成,形状似舟,主要用于承载硅片等基板通过高温处理。其特点包括:耐高温(可达2000℃以上)、化学稳定性好(耐酸碱腐蚀)、强度高、导电性能优异;但易氧化、吸湿,需存放于干燥洁净环境,常使用氮气柜保护。应用领域涵盖半导体(晶圆制造)、太阳能(电池板生产)、锂电池(电极材料)等。