石墨舟形状如船,主要用于承载硅片等基板材料通过高温处理过程。其特点包括:耐高温,可耐受高达2000℃以上的温度;化学稳定性好,能耐受多种酸、碱、盐腐蚀;强度高、导电性能优异;杂质含量低,由高纯石墨材料制作。石墨舟需存放在干燥清洁环境,避免氧化、受潮和污染。