石墨硬毡是由石墨软毡加少量连接剂成形后高温石墨化制成的隔热材料，具有耐高温、低导热等特点。

    石墨硬毡以碳碳复合材料为基材，常覆碳纤维布纸贴面，经高温（约2250℃以上）石墨化处理而成。其特点包括：低导热系数、高热稳定性（可耐2200℃以下高温）、高纯度（灰分≤20ppm）、抗侵蚀、易加工，且发尘量低、寿命长。主要用于真空炉、惰性气体炉、多晶硅/单晶硅炉隔热。