石墨盘是碳的同素异形体，具有耐高温、化学稳定、导电导热等特性，广泛用于半导体、高温设备等领域。

     石墨盘由石墨制成，分天然和人造两类，天然石墨需选矿除杂。具灰黑色不透明外观，化学性质稳定，耐腐蚀，仅与强氧化剂反应，氧气中燃烧生成二氧化碳。耐高温，3652℃升华，垂直电导率低约1000倍，具高各向异性。半导体领域常用SiC涂层石墨盘，抗氧化且耐1600℃高温，MOCVD设备中作衬底承载件，确保外延生长均匀性。